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サーモ理工の熱処理装置向けオプションを多数準備しています。 |
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加熱システム向けオプション関連製品は、下記の通りです。 |
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| 真空排気系 |
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真空チャンバー内を排気するポンプも各種取り扱っております。
ターボ分子ポンプ、ロータリーポンプ、ドライポンプ等真空ポンプ、各種真空計、バルブやフレキシブルチューブなどの真空配管等、ご希望の実験内容に合わせご提案致します。
下記製品が弊社標準システムの推奨品です。 |
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大気圧から10-5Paまで連続排気ができます。
ボタン一つで動作する使いやすいモデルです。 |
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| 型 番 |
HC80V |
| 寸 法 |
300×300×338mm |
| 到達可能真空度 |
大気圧〜10-5Pa |
| 接続規格 |
NW40 又は ICF114 |
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| 大気圧から10-7Paまで連続計測ができます。 |
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| 型 番 |
PK360 |
PK361 |
寸法（測定子
フランジ部除く） |
44×44×94 |
44×44×102 |
| 寸法（表示器） |
71×129×219 |
| 測定真空度 |
1×10-7Pa |
5×10-9Pa |
| 接続規格 |
NW25 |
ICF70 |
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サーモ理工の加熱装置は、一部製品を除き水冷が必要です。
冷却能力とポンプ能力から、下記製品が推奨品です。 |
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| 型 番 |
HRS012-A10Y |
| 寸 法 |
377×500×615mm |
| 冷却能力 |
1100W |
| ポンプ能力 |
0.13MPa |
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赤外線加熱の特性に合わせたセンサーをご提案致します。
放射温度計や各種熱電対を取り扱っています。 |
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直線移動機構付熱電対です。
ICFフランジ付シース熱電対で、超高真空中で熱電対を接触・隔離ができます。
ロードロック室から搬送された試料の測温に最適です。
また、熱電対を水平移動させることで温度分布の測定も行えます。 |
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| 型 番 |
測定温度範囲 |
| RS250V |
RT〜1700℃（真空中） |
| KS250V |
RT〜1200℃（真空中） |
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試料温度を非接触で計測できます。
センサーヘッドは、ICF70ビューポート等に取り付け出来ます。
LED照準を搭載し、測定位置合わせが簡単です。
熱処理装置の温度制御は、TP920VT型温度制御器と組み合わせて行ないます。
温度範囲や波長など、各種準備しております。 |
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| 型 番 |
測定温度範囲 |
| ITS4 |
300〜2000℃ |
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